真空實驗箱體，實驗箱體的參考配置，僅供參考：溫度均勻性：≤±1.5%℃； 升溫速度：0-8℃/min； 氧濃度：≤20ppm 工作尺寸：2-12寸晶圓及方片兼容，可尺寸定制 電源：AC380V/50HZ, 操作方式：人機界面+PLC，自動控制，程式運行 進氣口：φ10mmN2進氣、流量計控制/可調

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